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搞不定諾獎(jiǎng)?但可以搞定諾獎(jiǎng)的材料!——臺(tái)式高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)

更新時(shí)間:2020-09-29點(diǎn)擊次數(shù):1060

    年度的諾貝爾獎(jiǎng)又要在十月揭曉了??v覽歷年的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)我們不難發(fā)現(xiàn),很多新材料、新性質(zhì)的發(fā)現(xiàn)都給我們的科研生活留下了濃墨重彩的筆。

、諾獎(jiǎng)趣事

    要說(shuō)得諾獎(jiǎng),更多得靠上天的眷顧,讓科學(xué)家有神奇的想法和創(chuàng)意去登上科學(xué)的。不過(guò)有位諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)得主的經(jīng)歷更是傳奇的離譜。你還記得那個(gè)磁懸浮青蛙的實(shí)驗(yàn)嗎?沒(méi)錯(cuò),憑借磁懸浮青蛙,安德烈·海姆獲得了2000年的搞笑諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),并且他親自去參加了頒獎(jiǎng)儀式(可以自行了解,可不是每個(gè)人都敢去這個(gè)搞笑諾獎(jiǎng)的哦)。經(jīng)過(guò)這次另類(lèi)獎(jiǎng)項(xiàng)的“洗禮”,他在稀奇古怪的道路上越走越遠(yuǎn),有次他偶然用膠帶粘出了單層的石墨——“石墨烯”。2010年他憑借制備出石墨烯并測(cè)量了石墨烯的物理性質(zhì)而獲得真正的諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。就這樣安德烈·海姆成為了擁有“雙料”諾獎(jiǎng)的“逗”科學(xué)家。石墨烯的發(fā)現(xiàn)也對(duì)物理學(xué)的發(fā)展起到了巨大的推動(dòng)作用。很多基本的物理理論在石墨烯中得到了驗(yàn)證、石墨烯的殊性質(zhì)促進(jìn)了新型器件的發(fā)展、受到石墨烯的啟發(fā)科學(xué)家制備出了更多種類(lèi)的二維材料,可見(jiàn)石墨烯的發(fā)現(xiàn)意義非凡。雖然得諾獎(jiǎng)的人鳳毛麟角,對(duì)普通的科研工作者而言搞不定諾獎(jiǎng)是正常的,但是現(xiàn)在我們可以讓您輕松搞定諾獎(jiǎng)的材料。

二、石墨烯制備的進(jìn)方案

    從初的石墨剝離方法(膠帶粘貼)到化學(xué)氣相沉積方法(CVD),石墨烯的制備手段直備受關(guān)注。經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,CVD方法已成為*的有市場(chǎng)前景的石墨烯制備方案。英國(guó)Moorfield是家注于高質(zhì)量的薄膜生長(zhǎng)與加工技術(shù)的研發(fā)公司,常年來(lái)與曼徹斯大學(xué)安德烈·海姆課題組等多個(gè)科研團(tuán)隊(duì)都有重要的合作,并為他們提供高性能的科研設(shè)備,其中臺(tái)式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速制備系列—nanoCVD便是典型代表。與諾獎(jiǎng)團(tuán)隊(duì)的長(zhǎng)期合作使得該系列產(chǎn)品在制備石墨烯等碳基納米材料方面具有不可比擬的勢(shì)。該系列產(chǎn)品操作簡(jiǎn)便,生長(zhǎng)條件控制準(zhǔn)確,生長(zhǎng)迅速、制備出的樣品具有高質(zhì)量、高可重復(fù)性。30分鐘內(nèi)搞定高質(zhì)量石墨烯生長(zhǎng),nanoCVD可能是有的非??斓氖┥L(zhǎng)設(shè)備!

    日前,Quantum Design 中國(guó)子公司與英國(guó)Moorfield公司正式合作,作為中國(guó)的du家代理和戰(zhàn)略合作伙伴,將為中國(guó)用戶提供高性能的設(shè)備與質(zhì)的服務(wù)。

臺(tái)式高性能CVD石墨烯快速制備系統(tǒng)—nanoCVD 8G

三、其他薄膜制備與加工手段的代表設(shè)備

    除了石墨烯制備設(shè)備,英國(guó)Moorfield公司還推出了系列高性能的薄膜制備與加工設(shè)備,例如磁控濺射、熱蒸發(fā)、等離子刻蝕、高精度熱處理等。

    臺(tái)式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng)— nanoPVD S10A是Moorfield傾力打造的款高度集成化、智能化的臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng)。該系統(tǒng)雖然體積小巧,但是功能出色、配置齊全。nanoPVD S10A多可安裝3個(gè)水冷式濺射源,可實(shí)現(xiàn)高功率持續(xù)運(yùn)行,靶材尺寸與大型系統(tǒng)樣是行業(yè)通用尺寸。系統(tǒng)多可同時(shí)控制3路氣體,可以實(shí)現(xiàn)大型設(shè)備才有的共濺射和反應(yīng)濺射方案。劍橋大學(xué)、諾森比亞大學(xué)、帝國(guó)理工學(xué)院等用戶都對(duì)這款臺(tái)式設(shè)備給予了很高的評(píng)價(jià)。

臺(tái)式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng)—nanoPVD S10A

    臺(tái)式高質(zhì)量金屬\有機(jī)物熱蒸發(fā)系統(tǒng) - nanoPVD T15A是Moorfield推出的 nanoPVD系列中新的型號(hào),高腔體設(shè)計(jì)方案為熱蒸發(fā)而設(shè)計(jì),確保薄膜均勻度。系統(tǒng)可以配備低溫蒸發(fā)(LTE)和標(biāo)準(zhǔn)電阻蒸發(fā)源,分別用于沉積有機(jī)物和金屬薄膜。低熱容有機(jī)物蒸發(fā)源具有高精度的控制電源,可以準(zhǔn)確的控制蒸發(fā)條件,制備高質(zhì)量的有機(jī)物薄膜。金屬源采用盒式屏蔽模式,可以有效的減少交叉污染等問(wèn)題。智能的控制系統(tǒng)和靈活的配置方案使PVD-T15A廣泛應(yīng)用于材料研究域。劍橋大學(xué)、巴斯大學(xué)、??巳髮W(xué)、倫敦瑪麗女王大學(xué)等都是該設(shè)備的用戶。

臺(tái)式高質(zhì)量金屬\有機(jī)物熱蒸發(fā)系統(tǒng) - nanoPVD T15A

    臺(tái)式超準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH是與曼徹斯大學(xué)諾獎(jiǎng)得主Andre Geim課題組聯(lián)合研發(fā)的可用于二維材料高精度刻蝕的等離子軟刻蝕系統(tǒng)。與傳統(tǒng)的刻蝕方案相比,nanoETCH在石墨烯和2D材料的關(guān)鍵加工中表現(xiàn)出了很高的性能。該系統(tǒng)對(duì)輸出功率的分辨率可到達(dá)毫瓦量,可實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料的超準(zhǔn)逐層刻蝕,也可實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料進(jìn)行層內(nèi)缺陷制造,還可對(duì)石墨等基材進(jìn)行表面處理。該系統(tǒng)性能已經(jīng)在劍橋大學(xué)石墨烯中心、曼徹斯大學(xué)、英國(guó)國(guó)家石墨烯中心、西班牙光子科學(xué)研究所等諸多用戶實(shí)驗(yàn)室得到驗(yàn)證。

臺(tái)式超準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH

    臺(tái)式氣氛\(chéng)壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL可用于二維材料以及襯底在定氛圍中的高精度熱處理,也可用于其他有高精度熱處理要求的方向。英國(guó)Moorfield 公司將樣品、襯底等材料的熱處理上升到與納米材料的制備同樣的技術(shù)高度。通過(guò)準(zhǔn)確的真空度與氣氛控制以及高精度的溫度控制使樣品的熱處理過(guò)程變得和樣品的制備過(guò)程樣高度可控。西班牙光子科學(xué)研究所、英國(guó)國(guó)家物理實(shí)驗(yàn)室、曼徹斯大學(xué)等用戶對(duì)該設(shè)備的性能贊譽(yù)有加。

臺(tái)式氣氛\(chéng)壓力控制高溫退火系統(tǒng)—ANNEAL

    多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM是為SEM、TEM樣品的表面導(dǎo)電處理以及普通樣品的高質(zhì)量電生長(zhǎng)而設(shè)計(jì)的金屬濺射系統(tǒng)。系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM樣品網(wǎng)、普通薄膜樣品等多種樣品臺(tái)。雖然該系統(tǒng)主要為濺射導(dǎo)電金屬而設(shè)計(jì),但是該設(shè)備的性能已經(jīng)達(dá)到了高質(zhì)量薄膜樣品的制備標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)選擇不同的配置可以兼顧樣品的表面導(dǎo)電處理、電制備與學(xué)術(shù)研究型薄膜樣品的制備。

多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

四、落戶中國(guó)

    在正式向中國(guó)客戶提供設(shè)備和服務(wù)的短短數(shù)月時(shí)間內(nèi)我們便收到了諸多咨詢(xún),設(shè)備的性能更是受到了國(guó)內(nèi)諸多單位的認(rèn)可。目前*套臺(tái)式高質(zhì)量多功能薄膜磁控濺射系統(tǒng) - nanoPVD S10A訂單已落戶寧波大學(xué)。*套臺(tái)式超準(zhǔn)二維材料等離子軟刻蝕系統(tǒng)—nanoETCH即將在中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所安裝。我們希望更多的臺(tái)式高精度薄膜制備與加工系統(tǒng)能夠落戶中國(guó),讓國(guó)內(nèi)的科研工作者制備出更好的樣品!

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