透射電子顯微鏡法(TEM,這個縮寫也可以指種儀器,即透射式電子顯微鏡)是種顯微鏡技術(shù),在這種技術(shù)中,束電子束穿透樣品以形成圖像。樣本通常是厚度小于100納米的超薄切片或網(wǎng)格上的懸浮液。當(dāng)電子束穿過樣品時(shí),電子與樣品的相互作用形成圖像。隨后,圖像被放大并聚焦到成像裝置上,例如熒光屏,攝影膠片或者傳感器。傳感器可以是貼在電荷耦合裝置上的熒光材料。
透射電子顯微鏡的透鏡賦予了它操作模式的靈活性和將光束聚焦到原子尺度并放大到照相機(jī)上的圖像的能力。透鏡通常由螺線管線圈制成,線圈幾乎被鐵磁材料包圍,其設(shè)計(jì)目的是將線圈磁場集中成精確的、有限的形狀。當(dāng)個電子進(jìn)入和離開這個磁場時(shí),它以種非常像普通玻璃透鏡對待光的方式繞著彎曲的磁力線盤旋——它是個會聚透鏡。但是,與玻璃透鏡不同,磁透鏡可以很容易地通過調(diào)節(jié)流經(jīng)線圈的電流來改變其聚焦能力。這讓操作變得非常靈活,而當(dāng)透鏡被組裝成立透鏡的堆疊時(shí),操作的靈活性進(jìn)步增加,每個立透鏡可以聚焦、散焦、放大和/或準(zhǔn)直來自前透鏡的光束。這允許光源和樣品之間的單透鏡系統(tǒng)(“聚光透鏡”系統(tǒng))產(chǎn)生直徑超過1毫米的平行光束、小于原子的緊密聚焦光束或介于兩者之間的光束。另外個透鏡組,即“中間/投影儀”透鏡系統(tǒng),位于樣品之后??梢詫ζ溥M(jìn)行調(diào)整,讓產(chǎn)生的聚焦衍射圖案或樣品圖像的放大倍數(shù)在很大范圍內(nèi)變化。許多單個顯微鏡可以覆蓋大約100倍到1000000倍以上的放大范圍。