皮米激光干涉儀

設(shè)備選件

光纖式激光探頭 

IDS系列激光干涉儀可提供不同型號(hào)探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。
探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準(zhǔn)直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
工作溫度低至：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強(qiáng)輻射環(huán)境適用。
 

激光探頭技術(shù)參數(shù)表

應(yīng)用案例

■  IDS3010在航天飛行器形變檢測(cè)上的應(yīng)用

德國(guó)衛(wèi)星制造商OHB公司（德國(guó)OHB-System 是家門從事小衛(wèi)星系統(tǒng)、分系統(tǒng)研制工作的企業(yè),在小型商業(yè)衛(wèi)星、小型研究衛(wèi)星及相關(guān)分系統(tǒng)的研制、制造和操作方面具有豐富的經(jīng)驗(yàn)）采用attocube的激光位移傳感器IDS3010，對(duì)第三代氣象衛(wèi)星（MTG）柔性組合成像儀進(jìn)行了高真空光-熱-力學(xué)模型試驗(yàn)。該試驗(yàn)包括在儀器的不同區(qū)域，并監(jiān)控其后續(xù)光學(xué)元件相對(duì)位移測(cè)量哈曼傳感器。在真空環(huán)境中通過(guò)IDS3010激光干涉儀以小于1角秒的精度對(duì)平面基準(zhǔn)相對(duì)位置的穩(wěn)定性進(jìn)行了個(gè)多星期的持續(xù)測(cè)試。

為了校準(zhǔn)IDS3010不同探頭之間的距離，需要進(jìn)行初步測(cè)試（每個(gè)傳感器探頭與用于角度計(jì)算的距離，名義上為100 mm）。為此，平面參考鏡的電動(dòng)框架被用來(lái)產(chǎn)生任意角度的運(yùn)動(dòng)。這些角度是由IDS3010激光干涉儀和校準(zhǔn)的自準(zhǔn)直儀測(cè)量得到。IDS3010激光干涉儀在±720角秒范圍內(nèi)表現(xiàn)出良好的線性（<0.1%），并且非常容易校準(zhǔn)。再與MTG柔性組合成像儀對(duì)齊之后，即在Shack-Hartmann傳感器和IDS3010傳感器之間執(zhí)行另個(gè)交叉校準(zhǔn)，以補(bǔ)償IDS3010傳感器相對(duì)于Shack-Hartmann傳感器的時(shí)鐘。

第三代氣象衛(wèi)星的柔性組合成像儀（MTG-FCI）的實(shí)驗(yàn)裝置。紫色表示激光干涉儀組件：傳感器探頭支架和角角錐棱鏡支架。以上信息由OHB System AG提供

結(jié)果

此次測(cè)量的目的是在周多的時(shí)間內(nèi)連續(xù)監(jiān)測(cè)參考鏡相對(duì)于衛(wèi)星的穩(wěn)定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉儀得到的測(cè)試得到角度精度甚至比個(gè)角秒還要好。理論計(jì)算表明，其測(cè)試分辨率可以到達(dá)0.021角秒（等于5.8u°），但實(shí)際讀數(shù)受試驗(yàn)裝置振動(dòng)的限制。

■  IDS3010激光干涉儀在自動(dòng)駕駛高分辨調(diào)頻連續(xù)波（FMCW）雷達(dá)上的應(yīng)用

自動(dòng)駕駛是目前汽車工業(yè)前沿和火熱的研究，而自動(dòng)駕駛尤為重要的是需要可靠和高分辨率的距離測(cè)量雷達(dá)。德國(guó)弗勞恩霍夫高頻物理和雷達(dá)技術(shù)研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鴻魯爾大學(xué)（Bochum，D）的研究小組提出了種全集成硅鍺基調(diào)頻連續(xù)波雷達(dá)傳感器（FMCW），工作頻率為224 GHz，調(diào)諧頻率為52 GHz。通過(guò)使用德國(guó)attocube公司的皮米精度激光干涉儀FPS1010（新版本為IDS3010）證明了測(cè)量系統(tǒng)在-3.9μm至+2.8μm之間達(dá)到了-0.5-0.4μm的超高精度。這種全新的高精度雷達(dá)傳感器將會(huì)應(yīng)用于許多全新的汽車自動(dòng)駕駛域。

圖 緊湊型FMCW傳感器的照片

圖二 雷達(dá)測(cè)距示意圖，左邊為雷達(dá)，右邊為移目標(biāo)，attocube激光干涉儀用來(lái)標(biāo)定測(cè)量結(jié)果

參考文獻(xiàn)
S. Thomas, et al; IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).

■  IDS3010激光干涉儀在半導(dǎo)體晶圓加工無(wú)軸承轉(zhuǎn)臺(tái)形變的測(cè)量上的應(yīng)用

半導(dǎo)體光刻系統(tǒng)中的晶圓輕量化移動(dòng)結(jié)構(gòu)的變形阻礙了高通量的半導(dǎo)體制造過(guò)程。為了補(bǔ)償這些變形，需要測(cè)量由光壓產(chǎn)生的形變。來(lái)自荷蘭Eindhoven University of Technology 的科學(xué)家設(shè)計(jì)了個(gè)基于德國(guó)attocube干涉儀IDS3010的測(cè)量結(jié)構(gòu)，以此來(lái)詳細(xì)地研究因?yàn)楣鈮憾鴮?dǎo)致的形變性。圖所示為測(cè)量裝置示意圖，測(cè)量裝置由5 x 5 共計(jì)25個(gè)M12/F40激光探頭組成的網(wǎng)格，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè)納米的無(wú)軸承平面電機(jī)內(nèi)部的移動(dòng)器變形。實(shí)驗(yàn)的目的是通過(guò)對(duì)無(wú)軸承的平面的力分布進(jìn)行適當(dāng)?shù)难a(bǔ)償，從而有效控制轉(zhuǎn)臺(tái)的變形。實(shí)驗(yàn)測(cè)得大形變量為544nm，小形變量為110nm（如圖二所示）。

圖 左側(cè)5X5排列探頭測(cè)量裝置示意圖，右圖為實(shí)物圖

圖二 無(wú)軸承磁懸浮機(jī)臺(tái)形變量的測(cè)量結(jié)果，大形變量為544nm

參考文獻(xiàn)
Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.

■  IDS3010在X射線成像中提高分辨率的應(yīng)用

在硬X射線成像中，每個(gè)探針平均掃描時(shí)間的減少對(duì)于因?yàn)槭髟斐傻膿p傷是至關(guān)重要的。此外，系統(tǒng)的振動(dòng)或漂移會(huì)嚴(yán)重影響系統(tǒng)的實(shí)時(shí)分辨率。而在結(jié)晶學(xué)等光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，掃描時(shí)間主要取決于裝置的穩(wěn)定性。Attocube公司的皮米精度干涉儀FPS3010（升之后的型號(hào)為IDS3010），被用于化由多層波帶片（MZP）和基于MZP的壓電樣品掃描儀組成的實(shí)驗(yàn)裝置的穩(wěn)定性的測(cè)量。實(shí)驗(yàn)是在德國(guó)DESY Photon Science中心佩拉III期同步加速器的P10光束線站上進(jìn)行的。Attocube公司的激光干涉儀PFS3010用來(lái)檢測(cè)樣品校準(zhǔn)電機(jī)引起的振動(dòng)和沖擊產(chǎn)生的串?dāng)_?；谶@些測(cè)量，裝置的成像分辨率被提高到了±10nm。

圖 實(shí)驗(yàn)得到的系統(tǒng)分辨率結(jié)果

參考文獻(xiàn)
Markus Osterhoff, et at.; Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III; 103890T (2017)

■  IDS3010激光干涉儀在微小振動(dòng)分析中的應(yīng)用

電荷化理論能夠描述中性玻色子系統(tǒng)的布洛赫能帶，它預(yù)言二維量子化的四緣體具有帶隙、拓?fù)涞木S邊緣模式。研究機(jī)構(gòu)蘇黎世邦理工大學(xué)的Sebastian Huber教授課題組巧妙的用種機(jī)械超材料結(jié)構(gòu)來(lái)模擬二維的拓?fù)渚夡w，次在實(shí)驗(yàn)上觀測(cè)到了聲子四拓?fù)渚夡w。這具有重要意義的結(jié)果被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人員通過(guò)測(cè)試了種機(jī)械超材料的體，邊緣和拐角的物理屬性，發(fā)現(xiàn)了理論預(yù)言的帶隙邊緣和隙內(nèi)拐角態(tài)。這為實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高維度的拓?fù)涑牧系於酥匾?。德?guó)attocube公司的激光干涉儀IDS3010被用于超聲-空氣轉(zhuǎn)換器激勵(lì)后的機(jī)械超材料振動(dòng)分析。IDS3010能到探測(cè)到機(jī)械超材料不同位置的微小振動(dòng)，以識(shí)別共振頻率。終實(shí)現(xiàn)了11.2pm的系統(tǒng)誤差，為聲子四拓?fù)渚夡w的實(shí)驗(yàn)分析提供了有力的支持。

圖 實(shí)驗(yàn)中對(duì)對(duì)機(jī)械超材料微小振動(dòng)的頻率分析

參考文獻(xiàn)
Marc Serra-Garcia, et al.; Nature volume 555, pages 342–345 (2018)

■  IDS3010激光干涉儀在快速機(jī)床校準(zhǔn)的應(yīng)用

德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)（Rwth Aachen University，長(zhǎng)久以來(lái)被譽(yù)為“歐洲的麻省理工”）機(jī)床與生產(chǎn)工程實(shí)驗(yàn)室（WZL）生產(chǎn)計(jì)量與質(zhì)量管理主任的研究人員用IDS3010讓機(jī)床自動(dòng)校準(zhǔn)成為可能，這將提高機(jī)床的加工精度和加工效率。研究人員通過(guò)將IDS3010皮米精度激光干涉儀和其他傳感器集成到機(jī)床中，實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床的自動(dòng)在線測(cè)量。這使得耗時(shí)、需要中斷生產(chǎn)過(guò)程、安裝和卸載校準(zhǔn)設(shè)備的手動(dòng)校準(zhǔn)變得多余。研究人員建立了個(gè)單軸裝置的原型，用IDS3010進(jìn)行位置跟蹤，其他傳感器如CMOS相機(jī)被用來(lái)檢測(cè)俯仰和偏擺。校準(zhǔn)結(jié)果與常規(guī)校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)果進(jìn)行了比較：六個(gè)運(yùn)動(dòng)誤差（位置、俯仰、偏擺、Y-直線度、Z-直線度）對(duì)這兩個(gè)系統(tǒng)顯示出良好的致性，值得指出的是：使用IDS3010的總時(shí)間和成本顯著降低。該裝置演示了自動(dòng)校準(zhǔn)機(jī)床的原型，而且自動(dòng)程序減少了機(jī)器停機(jī)時(shí)間，從而通過(guò)保持相同的精度水平提高了生產(chǎn)率。

參考文獻(xiàn)

Benjamin Montavon et al; J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)

■  IDS3010激光干涉儀在工業(yè)C-T斷層掃描設(shè)備中的應(yīng)用

工業(yè)C-T斷層掃描被廣泛用于材料測(cè)試和工件尺寸表征。設(shè)計(jì)個(gè)錐束C-T系統(tǒng)的挑戰(zhàn)之是它的幾何測(cè)量系統(tǒng)。近，瑞士聯(lián)邦計(jì)量院（METAS）的科學(xué)家將德國(guó)attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉儀用于X射線源、樣品和探測(cè)器之間的精密位移跟蹤。實(shí)驗(yàn)共有八個(gè)軸用于位移跟蹤。除了測(cè)量位移之外，該實(shí)驗(yàn)裝置還能夠?qū)崿F(xiàn)樣品臺(tái)的角度誤差分析。終實(shí)現(xiàn)了非線性度小于0.1μm，錐束穩(wěn)定性在小時(shí)內(nèi)于10ppb的高精度工業(yè)C-T。

參考文獻(xiàn)

Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU

■  IDS3010激光干涉儀在增材制造3D打印方面的應(yīng)用

微尺度選擇性激光燒結(jié)（μ-SLS）是制造集成電路封裝構(gòu)件（如微控制器）的種創(chuàng)新方法。在大多數(shù)的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成電路封裝的生產(chǎn)尺寸只有幾微米，并且需要比傳統(tǒng)的增材制造方法有更小的公差。德克薩斯大學(xué)和NXP半導(dǎo)體公司開發(fā)了種基于u-SLS技術(shù)的新型3D打印機(jī)，用于制造集成電路封裝。該系統(tǒng)包括用于在燒結(jié)站和槽模涂布臺(tái)之間傳送工件的空氣軸承線性導(dǎo)軌。由于該導(dǎo)軌對(duì)定位精度要求很高，所以采用德國(guó)attocube公司的皮米精度干涉儀IDS3010來(lái)進(jìn)行位置的跟蹤。

參考文獻(xiàn)
Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA

■  IDS3010激光干涉儀在掃描熒光X射線顯微鏡中的應(yīng)用

在搭建具有納米分辨率的X射線顯微鏡時(shí)，對(duì)于系統(tǒng)穩(wěn)定性的要求提出了更高的要求。在整個(gè)過(guò)程中實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，必須確保各個(gè)組件以及組件之間的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性。德國(guó)attocube的IDS3010激光干涉儀具有異的穩(wěn)定性和測(cè)量亞納米位移的能力，表現(xiàn)出異的性能。IDS3010在40小時(shí)內(nèi)具有于1.25nm的穩(wěn)定性，并且在100赫茲帶寬的受控環(huán)境中具有于300pm的分辨率。因此，IDS3010是對(duì)所述X射線顯微鏡裝置中使用的所有部件進(jìn)行機(jī)械控制的*，使得整個(gè)X射線顯微鏡實(shí)現(xiàn)了40nm的分辨率，而在數(shù)據(jù)收集所需的整個(gè)時(shí)間內(nèi)系統(tǒng)穩(wěn)定性于45nm。

參考文獻(xiàn)
Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor

■  皮米精度激光干涉儀IDS3010在相位調(diào)制器的精密調(diào)制和控制上的應(yīng)用

相位調(diào)制器是相干合成孔徑望遠(yuǎn)鏡中光束合成機(jī)構(gòu)的關(guān)鍵部件。提高相位調(diào)制器的調(diào)制精度和控制帶寬有助于提高合成孔徑望遠(yuǎn)鏡的成像分辨率。相位調(diào)制器運(yùn)動(dòng)信息包括俯仰角、方位角和軸向位移3個(gè)自由度。目前3個(gè)或者多個(gè)自由度的實(shí)時(shí)測(cè)量還處于發(fā)展階段。同時(shí)實(shí)現(xiàn)多自由度測(cè)量更是少之又少。

來(lái)自中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所光束控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的方國(guó)明課題組采用德國(guó)attocube system AG公司的三軸皮米精度激光干涉位移傳感器IDS3010通過(guò)獲取待測(cè)目標(biāo)平面內(nèi)3個(gè)不共線點(diǎn)的位移量，而3個(gè)不共線的點(diǎn)可確定平面的法線，基于平面法線的解，從而可以獲得目標(biāo)的3個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)信息，包括方位角、俯仰角和軸向位移。成功實(shí)現(xiàn)了三自由度的同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量。

圖示： 三自由度測(cè)量原理示意圖

■  皮米精度位移測(cè)量激光干涉儀助力聲子四拓?fù)渚夡w觀測(cè)

電荷化理論能夠描述中性玻色子系統(tǒng)的布洛赫能帶，它預(yù)言二維量子化的四緣體具有帶隙、拓?fù)涞木S邊緣模式。蘇黎世邦理工大學(xué)的Sebastian Huber教授課題組巧妙地用種機(jī)械超材料結(jié)構(gòu)來(lái)模擬二維的拓?fù)渚夡w，次在實(shí)驗(yàn)上觀測(cè)到了聲子四拓?fù)渚夡w。這具有重要意義被刊登在nature上。研究人員通過(guò)測(cè)試種機(jī)械超材料的體、邊緣和拐角的物理屬性，發(fā)現(xiàn)了理論預(yù)言的帶隙邊緣和隙內(nèi)拐角態(tài)。這為實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高維度的拓?fù)涑牧系於酥匾?/span>

圖示：實(shí)驗(yàn)裝置示意圖

參考文獻(xiàn)

Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)

■  激光干涉儀檢測(cè)納米精度位移臺(tái)

誤差在實(shí)際生產(chǎn)中的存在可能導(dǎo)致?lián)p失以及客戶對(duì)產(chǎn)品信心的丟失。光學(xué)傳感器可以在質(zhì)量檢測(cè)中幫助減少誤差產(chǎn)生提高成品率。attocube激光干涉儀是理想的可在各個(gè)域提供高精度探測(cè)來(lái)減少誤差的種光學(xué)傳感器。

作為納米精度位移臺(tái)供應(yīng)商的德國(guó)attocube公司，對(duì)位移臺(tái)的精密移動(dòng)的測(cè)量與鑒定是個(gè)非常重要的任務(wù)。例如，下圖左，ECS3030型號(hào)的線性位移臺(tái)可在真空中進(jìn)行位移。ECS3030位移臺(tái)的行程是20mm。技術(shù)參數(shù)要求的是可重復(fù)精度小于50nm。用attocube激光干涉儀對(duì)位移臺(tái)上樣品進(jìn)行測(cè)量，位移臺(tái)被程序控制來(lái)回往復(fù)移動(dòng)1mm,在20mm的行程內(nèi)在多個(gè)不同地點(diǎn)進(jìn)行來(lái)回往復(fù)移動(dòng)。測(cè)量結(jié)果如下圖中所示。通過(guò)分析，左圖中的數(shù)據(jù)提取的偏差值是13.2nm，下圖右數(shù)據(jù)的直方圖顯示標(biāo)準(zhǔn)差是13nm。因此，位移臺(tái)的可重復(fù)性技術(shù)指標(biāo)是合格的。

通過(guò)使用attocube激光干涉儀可以實(shí)施對(duì)于納米精度位移臺(tái)ECS3030的全自動(dòng)測(cè)量。這已經(jīng)是德國(guó)attocube公司對(duì)于位移臺(tái)的質(zhì)量檢測(cè)手段。并且，這樣個(gè)簡(jiǎn)便與實(shí)用的傳感器可以直接集成到生產(chǎn)線中去提供高產(chǎn)出的質(zhì)量檢測(cè)。

■  激光干涉儀組建高精度X射線顯微鏡

同步輻射中心具有廣泛的應(yīng)用域，生物科技（蛋白質(zhì)結(jié)構(gòu)），醫(yī)學(xué)研究（微生物），工程研究（裂紋的變化觀測(cè)），進(jìn)材料（納米結(jié)構(gòu)測(cè)量）等。以上應(yīng)用需要高精度去驅(qū)動(dòng)聚焦鏡，樣品，光學(xué)狹縫等物品（下圖左），這樣的機(jī)械結(jié)構(gòu)需要減少熱漂移與定位誤差。

德國(guó)attocube公司的激光干涉儀具備皮米精度分辨率，激光探頭可在真空環(huán)境中使用，是同步輻射研究的良好選擇。在現(xiàn)有激光探頭中，標(biāo)準(zhǔn)激光探頭M12是已經(jīng)被證實(shí)可以在輻射環(huán)境中使用（大10MGy)。美國(guó)布魯克海文實(shí)驗(yàn)室E. Nazaretski等人結(jié)合attocube激光干涉儀與納米精度位移臺(tái)搭建了X射線掃描成像顯微鏡（下圖中）。通過(guò)attocube激光干涉儀作為實(shí)時(shí)檢測(cè)與反饋位移臺(tái)移動(dòng)的工具，科學(xué)家實(shí)現(xiàn)了0.5nm的步進(jìn)掃描（下圖右）。并且，在真空環(huán)境中，系統(tǒng)的熱漂移達(dá)到了2nm/h。

綜上所述，高精度的X射線顯微鏡可以實(shí)現(xiàn)納米精度掃描成像，是實(shí)現(xiàn)硬X射線區(qū)域光學(xué)研究的有力工具。該顯微鏡使得X射線熒光光譜納米精度成為了現(xiàn)實(shí)。

參考文獻(xiàn)

E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341

■  激光干涉儀無(wú)損探測(cè)軸承誤差

旋轉(zhuǎn)物體的運(yùn)動(dòng)誤差分析是高精度機(jī)械工程域的個(gè)主要興趣之。如果是高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，甚至1納米的誤差就會(huì)產(chǎn)生不想要的振動(dòng)與運(yùn)動(dòng)誤差。因此，納米精度的運(yùn)動(dòng)誤差監(jiān)測(cè)是機(jī)械工程域前沿的重要研究課題。個(gè)主要的難題是：如何減小運(yùn)動(dòng)誤差？

為了減小誤差，需要測(cè)量誤差。

德國(guó)attocube公司的激光干涉儀可以提供個(gè)無(wú)損，緊湊并且插即用的解決方案。通常的線性位移測(cè)量需要個(gè)平整的表面，而旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，遇到的是個(gè)曲面（右圖上）。attocube激光干涉儀測(cè)量的是個(gè)直徑為10mm的電動(dòng)轉(zhuǎn)子。由于attocube激光干涉儀的探頭具有較大的容忍角度，激光探頭很容易完成了校準(zhǔn)并開始進(jìn)行測(cè)量。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速為2160轉(zhuǎn)每秒，兩個(gè)激光探頭對(duì)轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn)行了測(cè)量。右圖下顯示的為測(cè)量結(jié)果，紅色實(shí)線為平均位置，而虛線顯示了誤差為5微米的兩個(gè)圓環(huán)。黑色實(shí)現(xiàn)為實(shí)際測(cè)量數(shù)據(jù)。

德國(guó)attocube公司的激光干涉儀軟件使用界面友好，可提供亞納米別的運(yùn)動(dòng)誤差校正方案。即使是新用戶，對(duì)于其激光干涉儀的使用也會(huì)很快熟悉。

參考文獻(xiàn)

Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013)

■  激光干涉儀校正低溫非線性掃描

通常掃描臺(tái)在室溫下掃描50微米 x 50微米的范圍時(shí)候不會(huì)有顯著的非線性效應(yīng)。但是當(dāng)在低溫環(huán)境（4K或更低）中，壓電陶瓷本身的性能發(fā)生變化，會(huì)產(chǎn)生下圖右中的非線性掃描現(xiàn)象。

通過(guò)德國(guó)attocube公司的激光干涉儀，可以在低溫環(huán)境下使用激光探頭對(duì)掃描臺(tái)的掃描運(yùn)動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)（高速掃描）。結(jié)合對(duì)掃描臺(tái)的施加電壓進(jìn)行實(shí)時(shí)反饋控制，可解決低溫下非線性掃描問(wèn)題。

測(cè)試數(shù)據(jù)

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1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry  Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020); https://doi.org/10.1063/1.5138369

2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems  James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 012015

3. S. Thomas, et al; IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).

4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)

5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU

6. Benjamin Montavon et al; J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)

7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)

8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography  T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)

9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface  T. Trottenberg and H. Kersten   Plasma Sources Sci. Technol. 26  055011 (2017)

10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)

11. Markus Osterhoff, et at.; Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III; 103890T (2017)

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