CRX-6.5K無液氦低溫探針臺

產(chǎn)品簡介

CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性，為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

低溫物理設(shè)備

傳感器探針臺超導(dǎo)磁體、電源、液面計等低溫成像設(shè)備制冷機設(shè)備位移臺系列設(shè)備低溫恒溫器磁電測量設(shè)備

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Lake Shore低溫探針臺選型指南！從先進技術(shù)到全新應(yīng)用解析

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CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性，為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨立的閉循環(huán)制冷機，開機后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經(jīng)濟性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。

I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標(biāo)準(zhǔn)的。雙級閉循環(huán)制冷機允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測量有機材料的關(guān)鍵要求。

CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內(nèi)工作，并可選擇擴展20 K至675 K的高溫范圍。該系統(tǒng)可容納直徑高達51 mm（2 in）的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應(yīng)用。

設(shè)備參數(shù)：

溫度范圍
安裝2個探針臂	基礎(chǔ)溫度8 K，控制范圍8.5 K ~ 350 K
安裝4個探針臂	基礎(chǔ)溫度9 K，控制范圍9.5 K ~ 350 K
安裝6個探針臂	基礎(chǔ)溫度10 K，控制范圍10.5 K ~ 350 K
安裝PS-HTSTAGE選件（與樣品背面偏壓不兼容）	基礎(chǔ)溫度20 K，控制范圍20 K ~ 675 K
溫度穩(wěn)定性
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)	未說明
<10 K	±25 mK
11 K ~ 350 K	±10 mK
351 K ~ 675 K	±50 mK
真空
室溫	<5×10^-4 Torr
基礎(chǔ)溫度	<1×10^-5 Torr
最高溫度	<5×10^-5 Torr
循環(huán)時間
總循環(huán)	6.25 h
抽真空	0.5 h
探針臺冷卻	3.5 h
探針臺升溫	2.25 h
樣品
最大尺寸	51 mm(2英寸)
樣品背光接口	不可選
樣品旋轉(zhuǎn)	不可選
樣品振動	＜2 μm
探針配置
最大探針數(shù)	6
探針臂溫度計	用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架	＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架	連接樣品臺熱沉
探針臂支架	連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針	電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針	頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針	可用于電光測量
落針范圍	所有探針均可在直徑為25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針