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產(chǎn)品中心

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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料制備/樣品合成薄膜、顆粒、膠體等制備薄膜真空沉積系統(tǒng)

薄膜真空沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術(shù)現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、太陽能等域的研發(fā)以及成產(chǎn)當(dāng)中,這些技術(shù)包括:
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器(PECVD Reactors)
脈沖激光沉積系統(tǒng)(Pulsed Laser Deposition)
磁控濺射系統(tǒng)(Sputter Deposition System)
電子束沉積系統(tǒng)(E-beam Deposition System)

產(chǎn)品型號:
更新時間:2024-04-18
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:2688
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薄膜真空沉積系統(tǒng)

薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術(shù)現(xiàn)已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、太陽能等域的研發(fā)以及成產(chǎn)當(dāng)中,這些技術(shù)包括:

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器(PECVD Reactors)

脈沖激光沉積系統(tǒng)(Pulsed Laser Deposition)

磁控濺射系統(tǒng)(Sputter Deposition System)

電子束沉積系統(tǒng)(E-beam Deposition Systems)

 

 

Quantum Design 引進(jìn)多家真空等離子生產(chǎn)商設(shè)備,產(chǎn)品線涵蓋通用系統(tǒng)到定制設(shè)備,來滿足中國科研機(jī)構(gòu)的不同需求,適合實驗室及工業(yè)使用。

 

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (PECVD)


應(yīng)用域:

SiO2、Si3N4、非晶硅、類金剛石薄膜、光學(xué)薄膜、介質(zhì)膜等制備
太陽能電池研發(fā)
石墨烯制備
碳納米管選擇性制備
等離子誘導(dǎo)表面改性
等離子清洗(NF3)
反應(yīng)離子蝕刻

NPE 系列:標(biāo)準(zhǔn)化射頻等離子體怎強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RF-PECVD reactors

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FLARION 系列:射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),高開放性、可擴(kuò)展定制

資料下載


MIRENIQUE 系列微波-等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(MW-PECVD reactors),高開放性、可擴(kuò)展定制

 

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脈沖激光沉積系統(tǒng) (Pulsed Laser Deposition systems

應(yīng)用域:


高溫超導(dǎo)材料研發(fā)
鐵電材料
鐵磁材料
光學(xué)材料
電介材料
硬質(zhì)薄膜
透明導(dǎo)電氧化物(TCO)沉積,如ITO,ZnO
功能陶瓷薄膜
納米結(jié)構(gòu)生長
聚合物薄膜

GLAZE 系列中小型,高擴(kuò)展性制式系統(tǒng)

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JUV 系列:大中型、復(fù)雜定制PLD系統(tǒng)

歡迎垂詢具體技術(shù)細(xì)節(jié)。


MAGNION 系列磁控管陰和磁控濺射系統(tǒng)(sputtering cathodes and PVD deposition systems

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FLOCON 系列電腦控制氣體管理系統(tǒng) (computer controlled gas management systems

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此外,Plasmionique公司還可以定制:電子束沉積系統(tǒng)(E-beam Deposition Systems

混合沉積系統(tǒng)(Hybrid Deposition Reactors

等離子 離子注入系統(tǒng) (Plasma Ion Implanter

分子束外延系統(tǒng) (MBE Systems

等離子、反應(yīng)離子、深反應(yīng)離子蝕刻反應(yīng)器(PE, RIE. DRIE Reactors

 

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